半導体超純水製造システム
電子機器および半導体産業向けの超純水システムは、前処理、逆浸透、超純水処理、後処理の4つの主要工程から構成されます。QILEEは、お客様のご要望に応じて、様々な流量と出口水質に対応した超純水システムをカスタマイズしてご提供いたします。
・18 mω以上の比抵抗
•総濃度5ppb未満
・シリカ含有量0.1ppb未満
プロセスフロー
1. 電子産業向け超純水を製造するための、イオン交換樹脂を用いた従来型の水処理方法。
その基本的なプロセスフロー：
●原水 → マルチメディアフィルター → 活性炭フィルター → カートリッジフィルター → 中間水タンク → 陽イオン交換層 → 陰イオン交換層 → 混合層（二層式） → 超純水タンク → 超純水ポンプ → 後段セキュリティフィルター → 使用地点
2. 電子産業向け超純水製造のための逆浸透水処理装置とイオン交換装置を組み合わせた方法。
その基本的なプロセスフロー：
●原水 → マルチメディアフィルター → 活性炭フィルター → カートリッジフィルター → 中間水タンク → 陽イオン交換層 → 陰イオン交換層 → 混合層（二層式） → 超純水タンク → 超純水ポンプ → 後段セキュリティフィルター → 使用地点
3．逆浸透システムと電気脱イオン（EDI）を組み合わせた超純水製造。これは環境に優しく、コスト効率の高い超純水製造プロセスであり、大きな発展の可能性を秘めている。
その基本的なプロセスフロー：
●原水 → マルチメディアフィルター → 活性炭フィルター → カートリッジフィルター → 中間水タンク → 陽イオン交換層 → 陰イオン交換層 → 混合層（二層式） → 超純水タンク → 超純水ポンプ → 後段セキュリティフィルター → 使用地点
真のシステム、真のパフォーマンス
出荷前に上海工場で製造・テストされたQILEE EDIシステムの工場写真です。
SS316Lスキッド • デュアルEDIモジュール • 統合コントロールパネル • 抵抗率モニタリング
EDIモジュール×4個 • 配電盤 • マルチチャンネル抵抗率表示器 • 自動アラーム
応用分野
電子・半導体材料、部品、アルミ箔、電解コンデンサ製造における加工品の洗浄用水。ブラウン管および蛍光スクリーン製造用のプロセス水。ガラス管洗浄、沈殿、湿潤、フィルム洗浄、管径洗浄などを含む。液晶ディスプレイ製造工程における洗浄用溶液調製水；電子チップ製造において、主にシリコンウェハーの洗浄に使用され、一部は化学溶液の調製やスライスにも使用される。IC製造におけるシリコンウェハ洗浄用の高純度水、および高品質ブラウン管・蛍光体製造用の水。LCD、LED、PDPプラズマディスプレイパネル用のプロセス水。太陽光発電用ウェハーのスライス加工および光電子製品の製造に使用される水。蓄電池、リチウム電池、太陽電池の製造用水。電気めっき、コーティング、自動車、金属加工などのハイエンド精密機械およびマイクロ精密製品向け表面処理水。金属、化学、生物学などの分野の研究機関向け実験用水。軍事関連企業および航空宇宙、天文学、原子力発電分野の研究機関向けに、水の製造および処理用水を供給する。主要産業仕様
SEMI F63規格に準拠、18 MΩ・cm、ウェーハ洗浄用
ガラス基板洗浄、低シリカ要求量
シリコンウェハーのテクスチャリングとコーティング。少数キャリアの寿命に影響を与える。
USP精製水、エンドトキシン＜0.001 EU/mL
QILEE EDI と従来の代替手段の比較
| 基準 | QILEE RO + EDI | 混合床式IEX | 従来型ROのみ |
| 製品の抵抗率 | ✅ 18 MΩ・cm以上を保証 | ⚠️ 10～18 MΩ・cm（劣化） | ❌約0.05～1 MΩ・cm |
| 化学的再生 | ✅ なし — 直流電流のみ | ❌ 酸＋苛性ソーダ、2～3週間ごと | ✅ なし |
| 業務継続性 | ✅ 24時間365日途切れることなく | ❌ サイクルごとに4～8時間のダウンタイム | ✅ 継続的 |
| OPEX（化学薬品） | ✅ ほぼゼロ | ❌ 年収20,000～80,000米ドル | ✅ 低濃度（スケール防止剤のみ） |
| TOC除去 | ✅ 5 ppb未満（UV + EDI） | ⚠️ 部分的（樹脂の種類による） | ❌ 限定 |
| SEMI F63準拠 | ✅ 完全準拠 | ⚠️ 再生直後のみ | ❌ 該当なし |
| 有害廃棄物 | ✅ なし | ❌ 酸性＋苛性排水 | ⚠️ 集中のみ |
| フットプリント | ✅ コンパクトスキッド / 40HQ | ⚠️ 大型（容器＋薬品タンク） | ✅コンパクト |
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給水分析結果と流量要件をお送りください。当社のエンジニアがシステムを設計し、サイズ、配管図、概算価格を含む詳細な技術提案書を無料でお送りいたします。もちろん、一切の義務は発生しません。
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