Полупроводниковая система сверхчистой воды

Система получения сверхчистой воды для электронной и полупроводниковой промышленности состоит из четырех основных этапов: предварительная обработка, обратный осмос, сверхчистота и последующая обработка. Компания QILEE разрабатывает системы получения сверхчистой воды с различными скоростями потока и качеством воды на выходе в соответствии с требованиями заказчика.

• Удельное сопротивление ≥18 мОм

• <5 ppb токсикологический индекс

• <0,1 ppb кремнезема

Преимущества нашей системы получения сверхчистой воды для полупроводниковой промышленности

Система имеет модульную конструкцию и использует передовую технологию водоподготовки, включающую двухступенчатую обратную осмотическую фильтрацию (RO) + электродиализ (EDI) + смешанный фильтр. Она разработана в строгом соответствии с новейшими техническими стандартами, что гарантирует стабильное качество воды и долговременную надежную работу.

Технологический процесс

1. Традиционный метод водоподготовки с использованием ионообменной смолы для получения сверхчистой воды для электронной промышленности.

Основной алгоритм работы:

● Неочищенная вода → Многослойный фильтр → Фильтр с активированным углем → Картриджный фильтр → Промежуточный резервуар для воды → Катионообменная мембрана → Анионообменная мембрана → Смешанная мембрана (двухслойная) → Резервуар для сверхчистой воды → Насос для сверхчистой воды → Фильтр после очистки → Фильтр на месте использования

2. Комбинированный метод использования оборудования для очистки воды методом обратного осмоса и ионообменного оборудования для производства сверхчистой воды для электронной промышленности.

Основной алгоритм работы:

3. Производство сверхчистой воды путем сочетания системы обратного осмоса с электродеионизацией (ЭДИ). Это экологически чистый и экономически эффективный процесс производства сверхчистой воды с большим потенциалом развития.

Основной алгоритм работы:

Реальные системы, реальная производительность

Фотографии заводских комплектов и систем QILEE EDI, собранных и протестированных на нашем предприятии в Шанхае перед отгрузкой.

Двухмодульная система DI

Стеллаж из нержавеющей стали SS316L • Два модуля EDI • Встроенная панель управления • Контроль удельного сопротивления

Крупномасштабная 4-модульная система EDI

4 модуля EDI • Распределительный шкаф • Многоканальный дисплей удельного сопротивления • Автоматическая сигнализация

Области применения

Вода для очистки электронных и полупроводниковых материалов, компонентов, алюминиевой фольги и заготовок при производстве электролитических конденсаторов;

Технологическая вода для производства кинескопов и люминесцентных экранов, включая очистку стеклянных колб, осаждение, смачивание, промывку пленки и очистку диаметра трубки;

Раствор для приготовления воды, используемый для очистки в процессе производства жидкокристаллических дисплеев;

В производстве электронных чипов используется в основном для очистки кремниевых пластин, а также в небольших количествах для приготовления химических растворов и нарезки;

Вода высокой степени очистки для очистки кремниевых пластин в производстве интегральных схем, а также вода для производства высококачественных кинескопов и люминофоров;

Технологическая вода для ЖК-, светодиодных и плазменных дисплеев;

Вода для нарезки фотоэлектрических пластин и производства оптоэлектронных изделий;

Производственная вода для аккумуляторных батарей, литиевых батарей и солнечных элементов;

Вода для обработки поверхностей, используемая в гальваническом покрытии, нанесении покрытий, автомобильной промышленности, металлургии и других высокоточных станках, а также для производства микропрецизионных изделий;

Лабораторная вода для научно-исследовательских институтов в металлургической, химической, биологической и других областях;

Производственная и технологическая вода для военных предприятий и научно-исследовательских учреждений в аэрокосмической, астрономической и атомной отраслях.

Основные отраслевые спецификации

Полупроводниковые интегральные схемы / DRAM / NAND

Соответствует стандарту SEMI F63, 18 МОм·см, для очистки кремниевых пластин.

Дисплейные панели LCD / OLED

Очистка стеклянной подложки, низкое потребление кремния.

Солнечные фотоэлектрические системы TOPCon / HJT

Текстурирование и нанесение покрытия на кремниевые пластины влияют на время жизни неосновных носителей заряда.

Фармацевтика и биотехнология

Очищенная вода USP, эндотоксин <0,001 Ед/мл

Питательная вода для котлов (BFW) для энергетической промышленности

Проводимость <0,1 мкСм/см, замена смешанного слоя, снижение эксплуатационных расходов на 50%.

Лабораторные и аналитические исследования

ВЭЖХ / ИК-МС / клеточные культуры, ISO 3696 Grade 1

Печатные платы и электронные компоненты

Удельное сопротивление >10 МОм·см, очистка медного покрытия

Электролизер на основе протонно-обменной мембраны для получения экологически чистого водорода

Проводимость <1 мкСм/см, защита MEA

QILEE EDI против традиционных альтернатив

Критерии	QILEE RO + EDI	Смешанный слой IEX	Только обычный обратный осмос
Удельное сопротивление продукта	✅ Гарантированное сопротивление ≥18 МОм·см	⚠️ 10–18 МΩ·см (деградирует)	❌ ~0,05–1 МОм·см
Химическая регенерация	✅ Нет — только постоянный ток	❌ Кислота + едкий настой, каждые 2–3 недели	✅ Нет
Операционная непрерывность	✅ Круглосуточно и без перебоев	❌ Время простоя за цикл: 4–8 часов	✅ Непрерывный
Операционные расходы (химические вещества)	✅ Практически ноль	❌ 20 000–80 000 долларов США в год	✅ Низкое содержание (только в составе средства против накипи)
удаление TOC	✅ <5 ppb (УФ + EDI)	⚠️ Частично (зависит от используемой смолы)	❌ Ограниченное количество
Соответствие стандарту SEMI F63	✅ Полное соответствие требованиям	⚠️ Только после свежей регенерации	❌ Не применимо
Опасные отходы	✅ Нет	❌ Кислотные + щелочные сточные воды	⚠️ Только концентрат
След	✅ Компактный салазочный контейнер / 40HQ	⚠️ Крупные (резервуары + химические резервуары)	✅ Компактный

Получите бесплатное техническое предложение в течение 48 часов.

Отправьте нам результаты анализа питательной воды и ваши требования к расходу. Наши инженеры разработают систему и вышлют вам подробное техническое предложение с расчетом размеров, схемой P&ID и предварительной сметой, совершенно бесплатно и без каких-либо обязательств.

Скачать >

Tell Us More About Your Project !

If you have any questions about water treatment systems, please feel free to contact QILEE.

Stable equipment