반도체용 초순수 시스템
전자 및 반도체 산업용 초순수 시스템은 전처리, 역삼투압, 초정수 및 후처리의 네 가지 핵심 단계로 구성됩니다. QILEE는 고객의 요구 사항에 따라 다양한 유량과 출수 수질을 갖춘 맞춤형 초순수 시스템을 제공합니다.
• 18mΩ 이상의 비저항
• <5 ppb toc
• 실리카 함량 <0.1 ppb
프로세스 흐름
1. 전자 산업용 초순수 생산을 위한 이온 교환 수지를 이용한 전통적인 수처리 방법.
기본 프로세스 흐름은 다음과 같습니다.
● 원수 → 다중 매체 필터 → 활성탄 필터 → 카트리지 필터 → 중간수 탱크 → 양이온층 → 음이온층 → 혼합층(이중층) → 초순수 탱크 → 초순수 펌프 → 후처리 안전 필터 → 최종 사용 지점
2. 전자 산업용 초순수 생산을 위한 역삼투압 정수처리 장비와 이온교환 장비의 결합 방법.
기본 프로세스 흐름은 다음과 같습니다.
● 원수 → 다중 매체 필터 → 활성탄 필터 → 카트리지 필터 → 중간 처리 탱크 → 역삼투압 시스템 → 혼합층(이중층) 필터 → 초순수 탱크 → 초순수 펌프 → 후처리 필터 → 최종 사용 지점
3. 역삼투압 시스템과 전기탈이온화(EDI)를 결합한 초순수 생산 방식. 이는 환경 친화적이고 비용 효율적인 초순수 생산 공정으로, 발전 가능성이 매우 높습니다.
기본 프로세스 흐름은 다음과 같습니다.
● 원수 → 다중 매체 필터 → 활성탄 필터 → 카트리지 필터 → 중간수 탱크 → 역삼투압 시스템 → 전기탈이온화(EDI) → 초순수 탱크 → 초순수 펌프 → 후처리 안전 필터 → 정수 처리
실제 시스템, 실제 성능
출하 전 상하이 공장에서 제작 및 테스트를 거친 QILEE EDI 시스템의 공장 사진입니다.
SS316L 스키드 • 듀얼 EDI 모듈 • 통합 제어 패널 • 저항 모니터링
4개의 EDI 모듈 • 전원 분배 캐비닛 • 다채널 저항률 표시 • 자동 경보
응용 분야
전해 콘덴서 제조 과정에서 전자 및 반도체 재료, 부품, 알루미늄 호일 및 가공물을 세척하는 데 사용되는 물;브라운관 및 형광 스크린 생산에 사용되는 공정수(유리 전구 세척, 침전, 습윤, 필름 세척 및 튜브 직경 세척 포함)액정 디스플레이 제조 중 세척용 용액 준비수;전자 칩 생산에서 주로 실리콘 웨이퍼 세척에 사용되며, 소량은 화학 용액 준비 및 절단에 사용됩니다.IC 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼 세척에 사용되는 고순도 물뿐만 아니라 고품질 브라운관 및 형광체 생산에 사용되는 물.LCD, LED 및 PDP 플라즈마 디스플레이 패널용 공정수;태양광 웨이퍼 절단 및 광전자 제품 제조에 사용되는 물;축전지, 리튬 배터리 및 태양 전지용 생산 용수;전기 도금, 코팅, 자동차, 금속 및 기타 고급 정밀 기계 및 초정밀 제품용 표면 처리수;금속, 화학, 생물학 및 기타 분야의 연구 기관용 실험실 용수;군수업체 및 항공우주, 천문학, 원자력 분야의 연구기관을 위한 생산 및 처리 용수 공급.핵심 산업 사양
웨이퍼 세척용으로 SEMI F63 규격 준수, 18 MΩ·cm 저항
유리 기판 세척, 저실리카 요구량
실리콘 웨이퍼 텍스처링 및 코팅은 소수 캐리어 수명에 영향을 미칩니다.
USP 정제수, 엔도톡신 <0.001 EU/mL
QILEE EDI 대 기존 대안
| 기준 | 퀼리 RO + 에디 | 혼합층 IEX | 기존 RO 전용 |
| 제품 저항률 | ✅ 18 MΩ·cm 이상 보장 | ⚠️ 10–18 MΩ·cm (성능 저하) | ❌ ~0.05–1 MΩ·cm |
| 화학적 재생 | ✅ 없음 — 직류 전류만 해당 | ❌ 산성 용액 및 부식성 용액, 2~3주 간격 | ✅ 없음 |
| 운영 연속성 | ✅ 24시간 연중무휴 중단 없이 | ❌ 주기당 4~8시간의 가동 중단 시간 | ✅ 지속적 |
| OPEX(화학제품) | ✅ 거의 0에 가까움 | ❌ 연간 20,000~80,000 USD | ✅ 낮음 (스케일 방지제만 포함) |
| TOC 제거 | ✅ <5 ppb (UV + EDI) | ⚠️ 부분적 (레진 종류에 따라 다름) | ❌ 제한적 |
| SEMI F63 규정 준수 | ✅ 완벽한 규정 준수 | ⚠️ 새로 재생성되었을 때만 사용 가능 | ❌ 해당 사항 없음 |
| 유해 폐기물 | ✅ 없음 | ❌ 산성 + 부식성 폐수 | ⚠️ 농축액만 사용하세요 |
| 발자국 | ✅ 소형 스키드 컨테이너 / 40HQ | ⚠️ 대형 (선박 + 화학물질 탱크) | ✅ 컴팩트함 |
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급수 분석 결과와 유량 요구 사항을 보내주시면, 저희 엔지니어들이 시스템을 설계하여 크기, 배관 도면(P&ID), 예상 가격을 포함한 상세한 기술 제안서를 무료로 제공해 드립니다. 어떠한 의무도 부담하실 필요가 없습니다.
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