سیستم آب فوق خالص نیمه هادی
سیستم آب فوق خالص برای صنایع الکترونیک و نیمه‌هادی شامل چهار مرحله اصلی است: پیش تصفیه، اسمز معکوس، فوق خالص‌سازی و پس تصفیه. QILEE سیستم آب فوق خالص را با دبی‌های مختلف و کیفیت آب خروجی مطابق با نیاز مشتری سفارشی می‌کند.
• مقاومت ویژه ≥18 mω
• کمتر از 5 ppb toc
• کمتر از 0.1 ppb سیلیس
مزایای سیستم آب فوق خالص نیمه هادی ما
این سیستم از طراحی ماژولار با فناوری پیشرفته تصفیه آب دو مرحله‌ای RO + EDI + بستر مختلط بهره می‌برد. این سیستم مطابق با آخرین استانداردهای فنی طراحی شده است تا کیفیت پایدار آب و عملکرد قابل اعتماد درازمدت را تضمین کند.
جریان فرآیند
۱. روش سنتی تصفیه آب با استفاده از رزین تبادل یونی برای تولید آب فوق خالص برای صنعت الکترونیک.
جریان فرآیند اساسی آن:
● آب خام → فیلتر چندرسانه‌ای → فیلتر کربن فعال → فیلتر کارتریج → مخزن آب میانی → بستر کاتیونی → بستر آنیونی → بستر مخلوط (بستر دوگانه) → مخزن آب فوق خالص → پمپ UPW → فیلتر امنیتی پست → نقطه استفاده
۲. روش ترکیبی تجهیزات تصفیه آب اسمز معکوس و تجهیزات تبادل یونی برای تولید آب فوق خالص برای صنعت الکترونیک.
جریان فرآیند اساسی آن:
● آب خام → فیلتر چندرسانه‌ای → فیلتر کربن فعال → فیلتر کارتریج → مخزن آب میانی → بستر کاتیونی → بستر آنیونی → بستر مخلوط (بستر دوگانه) → مخزن آب فوق خالص → پمپ UPW → فیلتر امنیتی پست → نقطه استفاده
۳. تولید آب فوق خالص با ترکیب سیستم اسمز معکوس با الکترودیونیزاسیون (EDI). این یک فرآیند تولید UPW سازگار با محیط زیست، مقرون به صرفه با پتانسیل توسعه بالا است.
جریان فرآیند اساسی آن:
● آب خام → فیلتر چندرسانه‌ای → فیلتر کربن فعال → فیلتر کارتریج → مخزن آب میانی → بستر کاتیونی → بستر آنیونی → بستر مخلوط (بستر دوگانه) → مخزن آب فوق خالص → پمپ UPW → فیلتر امنیتی پست → نقطه استفاده
سیستم‌های واقعی، عملکرد واقعی
عکس‌های کارخانه‌ای از سیستم‌های QILEE EDI که قبل از ارسال در تأسیسات شانگهای ما ساخته و آزمایش شده‌اند.
اسکید SS316L • ماژول‌های دوگانه EDI • پنل کنترل یکپارچه • مانیتورینگ مقاومت
۴ ماژول EDI • تابلوی توزیع برق • نمایشگر مقاومت چند کاناله • دزدگیر خودکار
زمینه‌های کاربردی
آب برای تمیز کردن مواد الکترونیکی و نیمه هادی، قطعات، فویل های آلومینیومی و قطعات کار در تولید خازن های الکترولیتی؛آب فرآوری شده برای تولید لامپ تصویر و صفحه نمایش فلورسنت، شامل تمیز کردن لامپ شیشه‌ای، رسوب‌گیری، خیساندن، شستشوی فیلم و تمیز کردن قطر لوله؛آب آماده‌سازی محلول برای تمیز کردن در طول تولید صفحه نمایش کریستال مایع؛در تولید تراشه‌های الکترونیکی، عمدتاً برای تمیز کردن ویفر سیلیکونی استفاده می‌شود و بخش کوچکی از آن برای تهیه محلول شیمیایی و برش دادن به کار می‌رود.آب با خلوص بالا برای تمیز کردن ویفر سیلیکونی در تولید IC و همچنین آب برای تولید لامپ تصویر با کیفیت بالا و فسفر؛آب فرآوری شده برای پنل‌های نمایشگر پلاسمای LCD، LED و PDP؛آب برای برش ویفر فتوولتائیک و تولید محصولات اپتوالکترونیکی؛آب تولیدی برای باتری‌های ذخیره‌سازی، باتری‌های لیتیومی و سلول‌های خورشیدی؛آب تصفیه سطحی برای آبکاری، پوشش، خودرو، فلز و سایر ماشین آلات دقیق و محصولات میکرو دقیق؛آب آزمایشگاهی برای موسسات تحقیقاتی در زمینه‌های فلزی، شیمیایی، بیولوژیکی و سایر زمینه‌ها؛تولید و فرآوری آب برای شرکت‌های نظامی و مؤسسات تحقیقاتی در بخش‌های هوافضا، نجوم و انرژی هسته‌ای.مشخصات اصلی صنعت
مطابق با SEMI F63، 18 MΩ·cm، برای تمیز کردن ویفر
تمیز کردن زیرلایه شیشه‌ای، نیاز کم به سیلیس
بافت و پوشش ویفر سیلیکونی؛ بر طول عمر حامل‌های اقلیت تأثیر می‌گذارد
آب تصفیه شده USP، اندوتوکسین <0.001 EU/mL
QILEE EDI در مقابل جایگزین های معمولی
| معیارها | QILEE RO + EDI | IEX بستر مختلط | فقط RO متعارف |
| مقاومت محصول | ✅ ≥18 مگا اهم · سانتی متر تضمین شده | ⚠️ ۱۰–۱۸ مگا اهم · سانتی‌متر (کاهش می‌یابد) | ❌ ~0.05–1 MΩ·cm |
| بازسازی شیمیایی | ✅ هیچکدام — فقط جریان مستقیم | ❌ اسید + سود سوزآور، هر ۲-۳ هفته | ✅ هیچکدام |
| تداوم عملیاتی | ✅ ۲۴ ساعته و بدون وقفه | ❌ ۴ تا ۸ ساعت زمان استراحت در هر چرخه | ✅ مداوم |
| اوپکس (مواد شیمیایی) | ✅ نزدیک به صفر | ❌ ۲۰،۰۰۰ تا ۸۰،۰۰۰ دلار آمریکا در سال | ✅ کم (فقط آنتی اسکالانت) |
| حذف TOC | ✅ کمتر از ۵ ppb (UV + EDI) | ⚠️ جزئی (بستگی به رزین دارد) | ❌ محدود |
| انطباق با استانداردهای SEMI-F63 | ✅ رعایت کامل مقررات | ⚠️ فقط زمانی که تازه احیا شده باشد | ❌ قابل اجرا نیست |
| زباله‌های خطرناک | ✅ هیچکدام | ❌ پساب اسیدی + سود سوزآور | ⚠️ فقط تمرکز کنید |
| ردپا | ✅ پایه جمع و جور / 40HQ | ⚠️ بزرگ (مخازن + مواد شیمیایی) | ✅ جمع و جور |
پیشنهاد فنی رایگان خود را در ۴۸ ساعت دریافت کنید
آنالیز آب تغذیه و الزامات جریان خود را برای ما ارسال کنید. مهندسان ما سیستمی را طراحی کرده و یک پیشنهاد فنی دقیق به همراه اندازه، طرح p&id و قیمت بودجه‌ای را بدون هیچ هزینه و تعهدی برای شما ارسال خواهند کرد.
Tell Us More About Your Project !
If you have any questions about water treatment systems, please feel free to contact QILEE.
Stable equipment
Mature technology
Automated operation
Simple operationPlease leave us a message with any questions.
پیوندها
سیستم و تجهیزات
کاربرد
تماس با ما
تلفن : +86 13370035529
اپلیکیشن تجاری: +86 13636655908
ایمیل:qilee@qileegroup.com
اضافه کنید: پلاک 351 جاده Wenqu، منطقه Fengxian، شانگهای
شریک مورد اعتماد شما در سیستم تصفیه آب
کپی‌رایت © 2026 شرکت تجهیزات حفاظت از محیط زیست شانگهای QILEE | نقشه سایت